UVC (UVGI) bekerja dengan cara merusak dan menghancurkan sel mikroba yang terdapat pada DNA, pilus, ribosom, dan kapsul. UVC menyebabkan kerusakan pada struktur DNA mikroba sehingga mereka tidak dapat bereproduksi atau berkembang biak. Selain itu, UVC juga merusak struktur lain pada mikroba seperti pilus, ribosom, dan kapsul yang mengakibatkan kematian mikroba secara efektif. Oleh karena itu, UVC dianggap sebagai metode efektif untuk menghilangkan patogen dari suatu permukaan atau ruangan.